特許

J-GLOBAL ID：200903068361622790

フラット回折格子光バルブ

発明者： ブルーム、デビッド・エム ,  コービン、デイブ・ビー ,  バンヤイ、ウィリアム・シー ,  ステイカー、ブライアン・ピー
出願人/特許権者： シリコン・ライト・マシーンズ
代理人 (1件)： 山崎 行造 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-501293
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510374
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】回折格子光バルブは入射光ビームを変調する。複数の細長い要素はそれぞれ反射表面を有している。細長い要素はそれぞれの縁で実質的に同一平面に懸架されている。細長い要素の他のものは第一のバイアス電圧を受けるために電気的に接続されている。互いに噛み合う細長い要素は第二のバイアス電圧を受けるために電気的に接続されている。適切な第一及び第二のバイアス電圧を印加することにより、全ての反射表面は第一の平面内に保持される。全ての細長い要素が第一の平面内にある時に、回折格子光バルブは光ビームを反射する。細長い要素の所定のグループは、好ましくは別個のものは、第一の平面に平行な第二の平面と実質的に同一平面にあるように変形可能である。要素の所定のグループが第二の変面内にある時に、回折格子光バルブは光ビームを回折する。

請求項（抜粋）：

a.各要素が第一の縁及び第二の縁及び光反射平面を有する複数の細長い要素と、前記要素は第一のグループの要素が第二のグループの要素と互いにかみあわされるように前記第一のグループと前記第二のグループにグループ分けされ、かつ前記要素は互いに平行に配列されている、 b.それらの縁で前記第一のグループ及び前記第二のグループの要素を懸架する手段と、 c.前記第一のグループに第一のバイアス電圧を印加する手段、及び、、前記反射表面が実質的に同一平面にありかつ入射光ビームを反射する第一の平面内にあるように、前記第二のグループに第二のバイアス電圧を印加する手段と、 d.第一の平面に平行でありかつ前記入射光ビームを回折する第二の平面に向けて、前記平面に垂直な前記第一のグループの前記要素を選択的に偏向させる手段と、 から成ることを特徴とする入射光ビームを変調する変調器。