特許

J-GLOBAL ID：200903068365579287

感光性ポリイミド樹脂組成物

発明者： 田中 明 ,  田崎 聡 ,  坂本 圭 ,  米田 泰博 ,  横内 貴志男 ,  水谷 大輔 ,  石月 義克
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247109
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082931
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 感度などのレジスト特性に優れ、高い保存安定性を有する感光性ポリイミド樹脂組成物を提供すること。【構成】 (A)一般式(I)で表されるポリアミック酸化合物、【化1】〔式中、R1は、4価の有機基であり、R2は、2価の有機基である。kは、5〜10000の整数であり、Zは、次式(II)で表される化学線官能基である。【化2】(式中、Xは、-COO-、-0-、-COCH2O-、-OCOO-、-SOO-、-SO2O-、または単結合であり、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1であり、nは、1〜3の整数である。)〕(B)光重合性官能基を有する感光助剤、及び(C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(I)で表されるポリアミック酸化合物、【化1】〔式中、R1は、4価の有機基であり、R2は、2価の有機基である。kは、5〜10000の整数であり、Zは、次式(II)で表される化学線官能基である。【化2】(式中、Xは、-COO-、-0-、-COCH2O-、-OCOO-、-SOO-、-SO2O-、または単結合であり、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1であり、nは、1〜3の整数である。)〕(B)光重合性官能基を有する感光助剤、及び(C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312