特許
J-GLOBAL ID：200903068365800382
ペリクルの収納構造及びその収納方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173633
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024238
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納し、かつこれ等のトレイとフタとをペリクルに接触させることによってペリクルを拘束し、この状態で、ペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃によってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵が発生してペリクルに付着したりする問題があった。【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着されたペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘着された保護フィルム4とからなるペリクルを、トレイ5とフタ6とよりなるケースに収納する構造に於いて、保護フィルム4に所定の接着力を有する粘着材8を塗着して、該保護フィルム4をトレイ5に仮着したペリクルの収納構造である。
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィルムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成したことを特徴としたペリクルの収納構造。
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, G03F 1/14 M
