特許

J-GLOBAL ID：200903068379303810

光学的な開口の作製方法

発明者： 大海 学 ,  前田 英孝 ,  加藤 健二 ,  篠原 陽子 ,  新輪 隆 ,  光岡 靖幸 ,  市原 進
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-360626
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161686
出願日： 2001年11月27日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 簡便な方法で均一な開口径を有する微小開口を形成する方法を提供すること。【解決手段】 錐状のチップ1と、前記チップ1と略同じ高さを有するストッパー2と、前記チップ1上に設けられた遮光膜3とを有する被開口形成体に対して、前記チップ1および前記ストッパー2の少なくとも一部を覆うような略平面部を有する剥離体6を用いて、前記略平面部が前記チップ1に接触した後に離反させることによって、前記チップ1先端に開口を形成する。

請求項（抜粋）：

錐状のチップと、前記チップと略同じ高さを有するストッパーと、前記チップ上に設けられた遮光膜とを有する被開口形成体に対して、前記チップおよび前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面部を有する剥離体を用いて、前記略平面部が前記チップに接触した後に離反させることにより、前記チップ先端に開口を形成する工程を含むことを特徴とする光学的な開口の作製方法。

IPC (5件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22 ,  G12B 21/06

FI (5件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/10 G ,  G11B 7/135 A ,  G11B 7/22 ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (10件)：

5D119AA22 ,  5D119JA34 ,  5D119NA05 ,  5D789AA22 ,  5D789CA21 ,  5D789CA22 ,  5D789CA23 ,  5D789JA34 ,  5D789JA66 ,  5D789NA05