特許

J-GLOBAL ID：200903068380861860

基板のX線検査方法及びそれに用いるX線検査装置

発明者： 齊藤 広能 ,  中平 仁 ,  柿島 伸幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356161
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162370
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 検査対象部分の重なりを防止して、且つ透過画像の取得を高速にできる基板のX線検査方法及びそれに用いるX線検査装置を提供する。【解決手段】 水平配置された基板3の上方に、この基板3に対して斜めにX線を出射するX線源23を設け、基板3の下方にX線源23から出射され基板3を透過したX線を検出するライン状X線センサ25を設け、X線源23及びライン状X線センサ25に対して基板3を水平方向に相対移動させることで、基板3に対するX線の透過画像を撮像する際に、X線源23とライン状X線センサ25との間に配置された基板3を水平方向に相対移動させて基板3の全面に亘ってX線の透過画像を撮像した後、基板3を水平面上で所定角度回転させ、該回転させた基板を、再びX線源23とライン状X線センサ25との間で水平方向に相対移動させ、基板3の全面に亘ってX線の透過画像を撮像する。

請求項（抜粋）：

水平配置された基板の上方に、この基板に対して斜めにX線を出射するX線源を設け、前記基板の下方に前記X線源から出射され基板を透過したX線を検出するライン状X線センサを設け、前記X線源及び前記ライン状X線センサに対して前記基板を水平方向に相対移動させることで、基板に対するX線の透過画像を撮像する基板のX線検査方法において、前記X線源と前記ライン状X線センサとの間に配置された前記基板を水平方向に相対移動させて前記基板の全面に亘ってX線の透過画像を撮像した後、前記基板を水平面上で所定角度回転させ、該回転させた基板を、再び前記X線源と前記ライン状X線センサとの間で水平方向に相対移動させ、前記基板の全面に亘ってX線の透過画像を撮像することを特徴とする基板のX線検査方法。

IPC (3件)：

G01N 23/04 ,  G21K 5/02 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

G01N 23/04 ,  G21K 5/02 X ,  H05K 3/00 V

Fターム (19件)：

2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA08 ,  2G001FA21 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA09 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12