特許
J-GLOBAL ID：200903068382475991
表面凹凸形状の定量化方法および装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210643
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034362
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 表面の微細凹凸形状を3次元的に定量化する。【構成】 凹凸形状の高さ情報であるSTMデータを取り込み、これらデータから傾きを表す1次微分データ、R度合いを表す2次微分データを計算する。これら、STMデータ,1次微分データ,2次微分データから平均値,最大値,最小値,標準偏差,歪み度,尖り度などの統計データを計算する。これら統計データは、表面凹凸形状の評価に利用される。
請求項（抜粋）：
評価対象物の表面の凹凸形状の高さをマトリックス状に配列された測定点について測定して、マトリックス状の高さデータを生成し、各測定点について、前記高さデータに基づいて、各測定点から8つの方向における凹凸形状の傾きを表す1次微分を計算し、前記8方向における1次微分の値の中で最大の値を有する方向を傾斜方向と定め、前記最大値によるマトリックス状の1次微分データを生成し、各測定点について、前記1次微分データに基づいて、前記傾斜方向における凹凸形状のR度合いを示す2次微分を計算して、マトリックス状の2次微分データを生成し、前記高さデータ,前記1次微分データ,前記2次微分データをそれぞれ処理して、表面凹凸の3次元形状を定量化する統計データを生成することを特徴とする表面凹凸形状の定量化方法。
IPC (2件)：
G01B 21/30 102
, G06F 15/32
