特許

J-GLOBAL ID：200903068383571137

照明光学装置

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-163848
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326352
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 水銀ランプなどの円形光源を用いて細長い長方形領域を高い照明効率で照明することのできる照明光学装置。【解決手段】 多光源像形成手段は、光源側から順に、所定の長方形断面を有する複数の第1レンズエレメントの集合体からなる第1レンズ群と、所定の六角形断面または7つ以上の辺を有する所定の多角形断面を有する複数の第2レンズエレメントの集合体からなる第2レンズ群とを有する。そして、複数の第1レンズエレメントの各々の光軸は、照明光学装置の光軸とほぼ平行で、且つ複数の第2レンズエレメントのうちの対応する第2レンズエレメントの光軸とほぼ一致する。

請求項（抜粋）：

所定の大きさを有するほぼ円形の光源と、該光源からの光束に基づいて複数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、該多光源像形成手段を介して形成された前記複数の光源像からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、前記多光源像形成手段は、光源側から順に、所定の長方形断面を有する複数の第1レンズエレメントの集合体からなる第1レンズ群と、所定の六角形断面または7つ以上の辺を有する所定の多角形断面を有する複数の第2レンズエレメントの集合体からなる第2レンズ群とを有し、前記複数の第1レンズエレメントの各々の光軸は、前記照明光学装置の光軸とほぼ平行で、且つ前記複数の第2レンズエレメントのうちの対応する第2レンズエレメントの光軸とほぼ一致することを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527