特許
J-GLOBAL ID：200903068384442578
センサの自律校正用変位入力装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130147
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325976
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 自律校正用の治具に平均感度校正の機能を一体に組み込んで、線形誤差校正の作業中に同時に平均感度校正を可能としたセンサの自律校正用入力装置を提供する。【解決手段】 基台1上にセンサ4の校正用入力となる変位を与えるための圧電アクチュエータ3を介して治具5が取り付けられ、その下にレーザ干渉計20が一体に組み込まれる。レーザ干渉計20は、基台1に取り付けられたレーザ光源14、治具5の裏面に取り付けられた可動ミラー10、その近傍において基台1に可動ミラー10と直交する反射面をもって取り付けられた基準ミラー11、可動ミラー10及び基準ミラー11からの反射光による干渉縞を検出するための受光ダイオード15等を備えて構成される。
請求項（抜粋）：
基台と、この基台上にセンサの校正用入力となる変位を与えるための圧電アクチュエータを介して取り付けられた治具と、前記基台に取り付けられたレーザ光源と、前記治具の裏面に治具と共に変位するように取り付けられて前記レーザ光源からの出力光ビームが垂直に入射される可動ミラーと、この可動ミラーの近傍において前記基台に前記可動ミラーと直交する反射面をもって取り付けられ、前記レーザ光源からの出力光ビームの一部が分岐されて垂直に入射される基準ミラーと、前記可動ミラー及び基準ミラーからの反射光による干渉縞を検出するための受光素子とを備えたことを特徴とするセンサの自律校正用変位入力装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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