特許
J-GLOBAL ID：200903068394069603
加工用プローブ及び加工装置並びに加工用プローブの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-034731
公開番号（公開出願番号）：特開2006-221981
出願日： 2005年02月10日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：
【課題】 決められた形状の加工針を先端に有し、常に一定の品質を維持すること。【解決手段】 サンプルに対向配置されたカンチレバー10と、該カンチレバー10の先端にサンプルに対向した状態で該サンプルの表面に接触可能に設けられ、先端が先鋭化された加工針11とを有する加工用プローブ2の製造方法であって、複数のダイヤモンド小片の中から、カンチレバー10の先端寸法に合うサイズで、且つ、突起を有するダイヤモンド小片を選択する選択工程と、該選択工程後、選択したダイヤモンド小片を加工台上に移動させる移動工程と、該移動工程後、集束ビームにより突起をさらに任意の形状で先鋭化するようエッチング加工すると共に、突起の基端側をカンチレバー10の先端に集束ビームを利用して取り付けて加工針11を作製する加工工程とを備えている加工用プローブ2の製造方法を提供する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
サンプルに対向配置されたカンチレバーと、
該カンチレバーの先端に前記サンプルに対向した状態で該サンプルの表面に接触可能に設けられ、先端が先鋭化された加工針とを有する加工用プローブであって、
前記加工針は、ダイヤモンド小片から集束ビームにより任意の形状に加工されたものであることを特徴とする加工用プローブ。
IPC (3件)：
H01J 37/30
, G01N 13/10
, H01J 9/14
H01J37/30 Z
, G01N13/10
, H01J9/14 Z
出願人引用 (1件)
-
走査型プローブ顕微鏡装置
公報種別：公表公報
出願番号：特願平8-505983
出願人：ジェネラルナノテクノロジーエルエルシー
審査官引用 (7件)
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