特許
J-GLOBAL ID:200903068399040824
積層セラミック基板
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
▲角▼谷 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-110359
公開番号(公開出願番号):特開2007-284264
出願日: 2006年04月13日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
【課題】 耐薬品性および機械的強度が大きい積層セラミック基板を提供する。【解決手段】 この積層セラミック基板100では、4層のセラミック層1aを有する内部セラミック層1と、内部セラミック層1の上面上および下面上にそれぞれ形成された表面セラミック層2とから構成されており、内部セラミック層1を構成するセラミック層1aは、それぞれ、アルミナとディオプサイト系結晶化ガラスまたはアノーサイト系結晶化ガラスとを含んでおり、各層1a中には、ディオプサイト(CaO・MgO・2SiO2)相またはアノーサイト(CaAl2Si2O8)相が存在している。また、表面セラミック層2は、アルミナとディオプサイト系結晶化ガラスを含んでおり、各層2中には、ディオプサイト相とルチル相が存在している。 【選択図】図1
請求項(抜粋):
アルミナとディオプサイト相またはアノーサイト相を有する結晶化ガラスとを含む内部セラミック層と、
前記内部セラミック層の最表面に形成されたアルミナとディオプサイト相及びルチル相を有する結晶化ガラスとを含む表面セラミック層と、
を備える、ことを特徴とする積層セラミック基板。
IPC (4件):
C04B 35/16
, C04B 35/195
, H05K 3/46
, C04B 35/64
FI (6件):
C04B35/16 Z
, C04B35/18 B
, H05K3/46 H
, H05K3/46 T
, C04B35/64 L
, C04B35/64 G
Fターム (20件):
4G030AA07
, 4G030AA08
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030BA12
, 4G030CA08
, 4G030GA20
, 4G030GA27
, 5E346AA12
, 5E346AA38
, 5E346BB01
, 5E346CC18
, 5E346CC31
, 5E346DD02
, 5E346EE24
, 5E346EE29
, 5E346GG04
, 5E346GG08
, 5E346GG09
, 5E346HH13
引用特許:
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