特許

J-GLOBAL ID：200903068402073020

熱紫外線硬化型樹脂層付き銅箔及びこれを用いた半導体装置の製造方法

発明者： 藤城 光一 ,  沖田 伸介 ,  稲葉 真司
出願人/特許権者： 新日鐵化学株式会社
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-064521
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257285
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 レーザー加工やデスミア工程の問題を解決する熱紫外線硬化型樹脂層付き銅箔を提供すると共に、半導体製造工程の省力化を図ることを目的とする。【解決手段】 熱紫外線硬化型樹脂が、アルカリ現像性を有するエポキシアクリレート樹脂の多塩基酸無水物との付加生成物、多官能アクリレート、重合禁止剤、光重合開始剤の4成分と、熱重合開始剤又はエポキシ樹脂を必須とする成分からなる熱紫外線硬化型樹脂層付き銅箔。この樹脂層付き銅箔を用いて、次の工程で半導体装置を製造する。(1)配線付き基板の配線面2aに、樹脂層付き銅箔の樹脂面1aを対向させて積層する工程、(2)銅箔面1bにエッチングマスク3aを配する工程、(3)pH9.2以下のエッチング液で、銅箔1bをエッチングして導体配線を形成する工程、(4)遮光マスク4を介して導体配線の絶縁部の樹脂層6形成部分に対して露光する工程、(5)有機アルカリ系水溶液を用いて35°C以下で未露光部分の樹脂層を除去して現像し、次いで加熱処理する工程。

請求項（抜粋）：

銅箔上に形成した熱紫外線硬化型樹脂層が、(1)エポキシ基を1分子中に2つ以上もつエポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸とを反応させたエポキシ(メタ)アクリレート樹脂と多塩基酸無水物との付加生成物(A成分)、(2)多官能(メタ)アクリレート(B成分)、(3)光重合開始剤(C成分)(4)熱重合開始剤(D成分)(5)重合禁止剤(E成分)を必須成分とし、A成分とB成分の重量比(A/B)が80/20〜50/50であり、A成分とB成分の合計100重量部に対して、C成分を0.3〜5重量部、D成分を0.01〜2重量部及びE成分を0.01〜2重量部含有することを特徴とする熱紫外線硬化型樹脂層付き銅箔。

IPC (10件)：

H01L 23/12 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/06 ,  C08G 59/16 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 1/03 610 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/46

FI (11件)：

C08F 2/48 ,  C08F290/06 ,  C08G 59/16 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/40 501 ,  H05K 1/03 610 L ,  H05K 1/03 610 S ,  H05K 3/46 T ,  H01L 23/12 N ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 23/12 L

Fターム (89件)：

2H025AA04 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025BJ08 ,  2H025CA00 ,  2H025CC20 ,  2H025DA18 ,  2H025DA40 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA47 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA06 ,  2H096CA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA30 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA23 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011UA08 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AE02 ,  4J027AE03 ,  4J027BA17 ,  4J027BA20 ,  4J027BA21 ,  4J027BA25 ,  4J027BA28 ,  4J027CA25 ,  4J027CA27 ,  4J027CB04 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD06 ,  4J036AD04 ,  4J036AD07 ,  4J036AD08 ,  4J036AD09 ,  4J036AD13 ,  4J036AD15 ,  4J036AD21 ,  4J036AF05 ,  4J036AF06 ,  4J036AF08 ,  4J036AF15 ,  4J036CA21 ,  4J036CA24 ,  4J036CA25 ,  4J036EA02 ,  4J036EA04 ,  4J036EA09 ,  4J036HA02 ,  4J036JA07 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346BB01 ,  5E346DD01 ,  5E346DD11 ,  5E346DD32 ,  5E346EE02 ,  5E346EE06 ,  5E346EE07 ,  5E346FF03 ,  5E346GG02 ,  5E346GG15 ,  5E346GG28 ,  5E346HH33