ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-026344
公開番号（公開出願番号）：特開2008-192867
出願日： 2007年02月06日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：

【課題】特に非鉛系に有効な圧電性能に優れたペロブスカイト型酸化物を提供する。【解決手段】下記一般式(PX)で表される組成を有するペロブスカイト型酸化物の製造方法において、下記式(1)〜(3)の関係を充足する条件で、組成を決定する。(A,B)CO3・・・(PX)(式(PX)中、A,B:Aサイト元素であり、各々1種又は複数種の金属元素、C:Bサイト元素であり、Taを70モル%以上含む少なくとも1種の金属元素、Oは酸素原子。A及びBは互いに異なる組成である。)、0.98≦TF(PX)≦1.01・・・(1)、TF(ACO3)>1.0・・・(2)、TF(BCO3)<1.0・・・(3)(式(1)〜(3)中、TF(PX)は上記一般式(PX)で表される酸化物の許容因子、TF(ACO3)及びTF(BCO3)はそれぞれ()内に記載の酸化物の許容因子である。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(PX)で表される組成を有するペロブスカイト型酸化物の製造方法において、下記式(1)〜(3)の関係を充足する条件で、組成を決定することを特徴とするペロブスカイト型酸化物の製造方法。 (A,B)CO3・・・(PX) (式(PX)中、A,B:Aサイト元素であり、各々1種又は複数種の金属元素、C:Bサイト元素であり、Taを70モル%以上含む少なくとも1種の金属元素、Oは酸素原子。A及びBは互いに異なる組成である。 Aサイト元素の総モル数が1.0であり、かつBサイト元素の総モル数が1.0である場合が標準であるが、Aサイト元素の総モル数とBサイト元素の総モル数はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)、 0.98≦TF(PX)≦1.01・・・(1)、 TF(ACO3)>1.0・・・(2)、 TF(BCO3)<1.0・・・(3) (式(1)〜(3)中、TF(PX)は上記一般式(PX)で表される酸化物の許容因子、TF(ACO3)及びTF(BCO3)はそれぞれ()内に記載の酸化物の許容因子である。)

IPC (7件)：

H01L 41/24 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , C04B 35/00 , H02N 2/00

FI (8件)：

H01L41/22 A , H01L41/08 J , H01L41/18 101B , H01L41/18 101J , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z , C04B35/00 J , H02N2/00 B

Fターム (8件)：

2C057AG44 , 2C057AP14 , 2C057AP51 , 4G030AA02 , 4G030AA03 , 4G030AA04 , 4G030AA21 , 4G030BA10

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