特許
J-GLOBAL ID：200903068408420910
基板移載機のティーチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336346
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156774
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】基板移載機の正確なティーチングを容易且つ迅速に行うことができる方法を提供する。【解決手段】基板搬送用の操作アーム3及びその操作アーム3の先端に取り付けた基板載置用のプレート5を操作し、プレート5を反応室20内の所定位置まで移動させる間に、操作アーム3及びプレート5の各軸6,7,8に連繋したエンコーダ9,10,11から操作アーム3及びプレート5の移動量に応じたパルスをコントローラ13に出力し、そのパルス数の合計を操作アーム3及びプレート5の位置データとしてコントローラ13に記憶させる。プレート5に形成した位置決め部5bを、反応室20内の所定位置に着脱可能に取り付けた位置決めジグ22に手動で当接させると、反応室20内の所定位置にプレート5を位置決めすることができる。
請求項（抜粋）：
基板搬送用の操作アーム及びその操作アームの先端に取り付けた基板載置用のプレートを操作し、プレートを反応室内の所定位置まで移動させる間に、操作アーム及びプレートに連繋したパルス発生器から操作アーム及びプレートの移動量に応じたパルスをコントローラに出力し、そのパルス数の合計を操作アーム及びプレートの位置データとしてコントローラに記憶させる基板移載機のティーチング方法において、前記プレートに位置決め部を形成し、前記反応室内の所定位置に位置決めジグを着脱可能に取り付けて、この位置決めジグに前記プレートの位置決め部を手動によって当接させることにより、前記反応室内の所定位置に前記プレートを位置決めすることを特徴とする基板移載機のティーチング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 9/22 Z
, H01L 21/68 A
