特許
J-GLOBAL ID：200903068412356267
光導波路型縮小光学イメ-ジセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012557
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317836
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズの直径を小さくすることなく、解像度を向上させることができ、解像度を上げても白黒コントラストが減少することのない光導波路型縮小光学イメージセンサを提供する。【解決手段】 画素数に相当する数に等ピッチで並べ設けられたマイクロレンズアレイ1と、光導波路基板3に設けられて画素数に相当する数に等ピッチで並べ設けられ、マイクロレンズアレイ1で集光された光を伝送する光導波路アレイ4と、この光導波路アレイ4から入射した光を電気信号に変換するCCDリニアセンサ6とを備える。そして、マイクロレンズアレイ1と光導波路アレイ4の対を積層構造に構成するとともに、積層方向に隣接する層のマイクロレンズ2と光導波路5との対をアレイ方向に層数分の一ピッチずらし、アレイ方向に隣接するマイクロレンズ2と光導波路5の対が層数個隣の画素を読み取るようにする。
請求項（抜粋）：
画素数に相当する数に等ピッチで並べ設けられたマイクロレンズアレイと、光導波路基板に設けられて前記画素数に相当する数に等ピッチで並べ設けられ、前記マイクロレンズアレイで集光された光を伝送する光導波路アレイと、この光導波路アレイから入射した光を電気信号に変換する光電変換素子とを具備し、前記マイクロレンズアレイと前記光導波路アレイの対を積層構造に構成するとともに、積層方向に隣接する層のマイクロレンズと光導波路との対をアレイ方向に層数分ピッチ分ずらし、アレイ方向に隣接する該マイクロレンズと該光導波路との対が層数個隣の画素を読み取るようにしたことを特徴とする光導波路型縮小光学イメージセンサ。
IPC (3件)：
H04N 1/028
, G02B 6/42
, H01L 31/0232
H04N 1/028 Z
, G02B 6/42
, H01L 31/02 D
