特許

J-GLOBAL ID：200903068415936787

基板移載機

発明者： 示野 和弘 ,  中川 均 ,  津里 誠
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090091
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270522
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】基板移載機に於いて、基板を安定性良く載置し、高速で搬送し、又、被処理基板の大口径化の要求に対応する為に、基板搬送プレートの大型化を図る。【解決手段】基板5を受載する基板搬送プレート36に対向させて基板検出センサを設け、該基板検出センサの検出媒体投射軸と合致する前記基板搬送プレートの部分を削除し、基板検出センサから発せられた検出媒体は基板搬送プレートを透過し、基板の存在により検出媒体の透過が遮られて基板を検出する。

請求項（抜粋）：

基板を受載する基板搬送プレートに対向させて基板検出センサを設け、該基板検出センサの検出媒体投射軸と合致する前記基板搬送プレートの部分を削除したことを特徴とする基板移載機。