特許
J-GLOBAL ID：200903068437464064
基板型光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329709
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174952
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【構成】 本発明の基板型光導波路は、基板12上に、断面が略円形状の光導波路14を設け、基板12と光導波路14との間に光導波路14より幅の狭い基材層15を設け、基材層15は高軟化点のガラスからなり、光導波路14は基材層15より高屈折率かつ低軟化点のガラスからなる。製法は、基板上に、基材層、光導波路層を順次積層し、次いで基材層の幅が光導波路層より狭くなるよう基材層及び光導波路層を選択的に蝕刻し、次いで基材層の軟化点以下の所定の温度にて熱処理し光導波路層を軟化させて光導波路とする。【効果】 シングルモードでは散乱損失を低減することができ、マルチモードの場合では、さらに光ファイバとの間の結合損失をも低減することができる。また、光導波路の反射損失を減少させることができる。また、製法では、断面が略円形状でかつなめらかな光導波路を容易に作製することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に、断面が略円形状の光導波路を設け、前記基板と光導波路との間に該光導波路より幅の狭い基材層を設け、該基材層は高軟化点のガラスからなり、前記光導波路は該基材層より高屈折率かつ低軟化点のガラスからなることを特徴とする基板型光導波路。
IPC (3件)：
G02B 6/12
, C03B 13/04
, C03B 19/00
