特許

J-GLOBAL ID：200903068438321720

半透明の材料からなる平板ならびにその製造方法

発明者： アントン ツメルティ ,  ヨアヒム スチルボフスキー ,  クリストフ ブラーツ
出願人/特許権者： バルツァース ウント ライボルト ドイチュラント ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143249
公開番号（公開出願番号）：特開平8-336928
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【課題】 半透明の材料からなり、可視領域に高い透過特性および熱放射領域に高い反射特性を有する平板を提供する。【解決手段】 基板の一方の側に、5個の単独層を包含する多層の低放射率層を設ける。直接基板上に設けられる第一層は金属酸化物、たとえばZnO,SnO2,からなり、第二層は金属亜酸化物、たとえばZnおよび/またはTaからなり、第三層は金属、たとえばAg,Cuからなり、第四層は金属、たとえばTi,Cr,Nbまたは金属亜酸化物からなり、かつ第五層は生じた層に相当する組成を有する。個々の層は、順次にスパッタ、とくにマグネトロン陰極スパッタにより設ける。このような層系は、慣例により製造された低放射率層に比して、高い付着強度および化学安定性を有する。

請求項（抜粋）：

基板および基板の一方の側に構成された層系を有する、半透明の材料からなる平板において、基板上にa)酸化物群ZnO,SnO2,In2O3,Bi2O3,TiO2,ZrO2,Ta2O5,SiO2,Al2O3またはその混合物、または窒化物AlN,Si3N4またはその混合物、またはアルミニウム-、チタン-、ジルコニウム-またはケイ素酸化窒化物またはその混合物からなる,20nm〜70nmの厚さを有する第一層が析離され、b)第二層は、金属Znおよび/またはTaのいずれか1つまたはその混合物から金属亜酸化物(不足化学量論的酸化物)として1nm〜40nmの厚さで析離され、c)金属Ag,Cuのいずれか1つまたはその混合物からなる、5〜30nmの厚さを有する第三層が設けられ、d)第四層は、金属Ti,Cr,Nbのいずれか1つまたはその混合物または金属のいずれか1つを少なくとも15at.%有する合金から金属層または金属亜酸化物(不足化学量論的酸化物)として0.5〜5nmの厚さで設けられ、e)第五層は、第一層におけるような材料から析離されていることを特徴とする半透明の材料からなる平板。

IPC (5件)：

B32B 9/00 ,  B32B 15/04 ,  C23C 14/08 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28

FI (5件)：

B32B 9/00 A ,  B32B 15/04 Z ,  C23C 14/08 N ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28