特許

J-GLOBAL ID：200903068447687339

ウエハ研削方法

発明者： 後藤 登
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-043358
公開番号（公開出願番号）：特開2003-236735
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：

【要約】【課題】 単結晶インゴットを平行に切断して薄片としたアズカットウエハには反りがある。フォトリソグラフィによってパターンを形成する際ウエハの反りは誤差を発生する原因になる。ウエハを削る研削工程においてウエハの反りを取り除くことを目的とする。【解決手段】 ウエハの直径をD、平面にウエハを置いたときの中心の平面からの隆起によって定義した反りをΔとし、凸面あるいは凹面を表にしてウエハをプレートに固定し、半径をRとし曲率が2α>max{8Δ/D2}を満足する回転砥石を、砥石周面がウエハの中心近傍に来るように接触させ、ウエハの反りと反対の方向に一定の傾斜角Θ=4ΔR/D2〜12ΔR/D2で傾斜させて、回転砥石とプレートを回転させてウエハの片面を研削し、裏返して平行面をもつ砥石をウエハ面に接触させてもう一方の面を研削する。

請求項（抜粋）：

インゴットを切断して薄片とした反りのあるアズカットウエハの厚みを整えるための研削であって、ウエハの直径をD、平面にウエハを置いたときの中心の平面からの隆起によって定義した反りをΔとし、凸面あるいは凹面を表にしてウエハをプレートに固定し、半径をRとし曲率が2α>max{8Δ/D2}を満足する回転砥石を、砥石周面がウエハの中心近傍に来るように接触させ、ウエハの反りと反対の方向に一定の傾斜角Θ=4ΔR/D2〜12ΔR/D2で傾斜させて、回転砥石とプレートを回転させてウエハの片面を研削し、裏返して平行面をもつ砥石をウエハ面に接触させてもう一方の面を研削するようにしたことを特徴とするウエハ研削方法。

IPC (3件)：

B24B 1/00 ,  B24B 7/20 ,  H01L 21/304 631

FI (3件)：

B24B 1/00 A ,  B24B 7/20 ,  H01L 21/304 631

Fターム (9件)：

3C043BB00 ,  3C043CC04 ,  3C043DD01 ,  3C049AA04 ,  3C049BA02 ,  3C049BA09 ,  3C049BC02 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01