熱圧着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177622
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022348
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】ワークを吸着すると同時に均一に加熱できる熱圧着装置を提供することを目的とする。【解決手段】ワーク8を吸引する流路39を備えた吸着ツール12と、吸着ツールを加熱するヒータ37と、流路を塞ぐように吸着ツール12の下部に設けられた多孔質材25とを備えている。

請求項（抜粋）：

ワークを吸引する流路を備えた吸着ツールと、前記吸着ツールを加熱するヒータと、前記流路を塞ぐように前記吸着ツールの下部に設けられた多孔質材とを備えたことを特徴とする熱圧着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 , H01L 21/603

FI (2件)：

H01L 21/60 311 T , H01L 21/603 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

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