特許

J-GLOBAL ID：200903068454825640

電子顕微鏡装置

発明者： 大嶋 卓 ,  戸所 秀男 ,  品田 博之 ,  福原 悟 ,  野副 真理
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-117607
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313273
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】リターディングやブースティングを大きくかけずに低加速でも分解能の高い電子顕微鏡を構成する。【解決手段】単色性のよいホトカソードを電子源に用いる。

請求項（抜粋）：

励起光の光源装置と、真空中にあって上記励起光の照射により電子を放出するホトカソードと、上記ホトカソード上に励起光を集光する集束レンズと、ホトカソードから発生する電子の引き出し電極と、光収束確認手段と、ホトカソード表面清浄化手段と、ホトカソード表面活性化手段と、Cs追加蒸着手段と、少なくとも2つの電子レンズと、電子線の偏向器と、基板試料室と、基板試料移動ステージを有してなり、試料に入射する電子線を低加速(500Vから2000V)で観察することを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/073

FI (2件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/073

Fターム (7件)：

5C030CC10 ,  5C033FF10 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU10