特許

J-GLOBAL ID：200903068455713101

投影露光装置

発明者： 工藤 祐司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061127
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226227
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 照度均一性が良好であると共に、通常のレチクルを使用しても、高解像度且つ大焦点深度が得られるようにする。【構成】 パルス光を発する光源1と、光源1からの光束を偏向させる回転する偏角プリズム40と、これにより偏向された光束より順次面光源を形成するフライアイレンズ41a,41bと、このフライアイレンズからの光を集光してレチクル9を照明するコンデンサーレンズ8とを有する。光源1からのパルス光を1個又は複数個のパルス光毎にフライアイレンズ41aと41bとに交互に入射させる。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクを照明光学系からの光で照明し、前記パターンの像を投影光学系を介して感光基板上に結像する投影露光装置において、前記照明光学系は、パルス光を発する光源と、該光源からのパルス光により面光源を形成する面光源形成手段と、該面光源形成手段からの光を集光して前記マスクを照明するコンデンサーレンズとを有し、前記光源と前記面光源形成手段との間に前記光源からのパルス光を偏向させる偏向手段を配置し、該偏向手段を動かすことにより前記光源からのパルス光を1個又は複数個のパルス光毎に前記面光源形成手段の前記照明光学系の光軸から偏心した複数の位置に入射させ、前記面光源形成手段により形成される複数の面光源が実質的に互いに分離されると共に前記照明光学系の光軸に対し偏心して形成される事を特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L