特許
J-GLOBAL ID：200903068457863577
カラ-フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240573
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094638
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】この発明は、正常部と欠陥部のコントラスト比が向上し、高精度の検査が可能となるカラ-フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源を提供することを目的とする。【構成】この発明のカラ-フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源は、透明基板上に赤,緑,青の着色層を形成したカラ-フィルタ1を、検査用光源2からの透過光により着色層の欠陥の有無を検査する場合、検査用光源として、そのスペクトルピ-ク値が590(±20)nm、又は510(±20)nmにあるものの少なくとも一方を使用することにより、上記の目的を達成することが出来る。
請求項（抜粋）：
透明基板上に赤,緑,青の着色層を形成したカラ-フィルタを、検査用光源からの透過光により上記着色層の欠陥の有無を検査するカラ-フィルタの検査方法において、上記検査用光源として、そのスペクトルのピ-ク値が590(±20)nm、又は510(±20)nmにあるものの少なくとも一方を使用することを特徴とするカラ-フィルタの検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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