特許
J-GLOBAL ID：200903068462342763
磁気記録媒体の保護層及び潤滑層形成方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-020588
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212545
出願日： 1995年02月08日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【構成】 ベースフィルム上に形成された磁性層を有する磁気記録媒体13の磁性層上に保護層及び潤滑層を同時に形成するための方法及び装置である。フッ化炭素系不活性溶媒に溶解されたフッ素系潤滑剤が、超音波噴霧器21により微粒化され、ECRプラズマCVD装置17によりプラズマチャンバ16内に形成されたプラズマ雰囲気中へと供給され、次いで冷却キャンロール12上を走行する磁気記録媒体の磁性層上に導かれて、DLC保護層とフッ素系潤滑層が同時に形成される。【効果】 保護層と潤滑層が同時に形成されて工程の単純化が図られ、また両層の間での剥離の問題も回避され、特性の良好な磁気記録媒体が得られる。
請求項（抜粋）：
ベースフィルム上に形成された磁性層を有する磁気記録媒体に保護層及び潤滑層を成膜することからなる磁気記録媒体の保護層及び潤滑層形成方法において、フッ化炭素系不活性溶媒に溶解されたフッ素系潤滑剤をプラズマ雰囲気中に供給し、次いで前記磁性層上に導くことによって保護層及び潤滑層を同時に形成することからなる方法。
IPC (5件)：
G11B 5/84
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, G11B 5/71
, G11B 5/72
