特許

J-GLOBAL ID：200903068462856163

薬液調合装置

発明者： 角掛 泰洋 ,  舟橋 達也
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-246372
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074718
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 薬液調合装置において、液面センサを使用することなく、薬液の計量を行う。【解決手段】 本発明は、複数の液体を所定の比率で混合して薬液を調合する薬液調合装置1であって、薬液を貯留する貯留手段21と、貯留手段21から薬液の使用対象25に薬液を送液する第一の流路24と、使用対象25における余剰の薬液を貯留手段21に還流する第二の流路29とを備え、第一の流路24及び第二の流路29にそれぞれ流量計28,30を設け、第一の流路24に設けた流量計28と第二の流路29に設けた流量計30との測定値の差から、使用対象25における薬液の消費量を算出することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

複数の液体を所定の比率で混合して薬液を調合する薬液調合装置であって、上記薬液を貯留する貯留手段と、この貯留手段から上記薬液の使用対象に上記薬液を送液する第一の流路と、上記使用対象における余剰の上記薬液を上記貯留手段に還流する第二の流路とを備え、上記第一の流路及び第二の流路にそれぞれ流量計を設け、上記第一の流路に設けた流量計と第二の流路に設けた流量計との測定値の差から上記使用対象における上記薬液の消費量を算出することを特徴とする薬液調合装置。

IPC (4件)：

G01F 5/00 ,  G01N 1/36 ,  G01N 35/00 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

G01F 5/00 ,  G01N 35/00 C ,  H01L 21/304 648 G ,  G01N 1/28 Z

Fターム (10件)：

2F030CA03 ,  2F030CC01 ,  2F030CE12 ,  2F030CF05 ,  2F030CF07 ,  2F030CH05 ,  2G058BB02 ,  2G058FA01 ,  2G058FB01 ,  2G058GB10