特許

J-GLOBAL ID：200903068467451676

光酸発生型のN-ショウノウスルホニルオキシ置換マレイミドの共重合体及びその製造方法

発明者： 安 光 徳 ,  鄭 燦 文
出願人/特許権者： 財団法人韓国科学技術研究院
代理人 (1件)： 津国 肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022774
公開番号（公開出願番号）：特開平9-227634
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：

【要約】【課題】 光酸発生基と酸反応基が同じ高分子鎖に結合した1成分系レジスト高分子を提供すること。【解決手段】 式(I)で示される単量体及び式(II)、(III) 及び(IV)で示される単量体の一種又は二種から得られる共重合体。【化7】上記式中、Xは、ショウノウ-10-スルホニル基を表し、Yは、-H、-OH、-COOBu-t、-OCOOBu-t、-OBu-tなどを表し、Zは、パラ位若しくはメタ位置換の、-OCOOBu-t、-CH3 、-Clなど表す。

請求項（抜粋）：

式(I):【化1】(式中、Xは(+)-ショウノウ-10-スルホニル、(-)-ショウノウ-10-スルホニル、又は(±)-ショウノウ-10-スルホニル基を表す)で示される単量体と、式(II)、(III)及び(IV):【化2】(上記式中、Yは、-H、-OH、-COOBu-t、-OCOOBu-t、-OBu-t、-OSi(CH3)3 Bu-t、又は-C6 H4 OCOOBu-tを表し、Zは、パラ位若しくはメタ位置換の、-OCOOBu-t、-CH3 、-Cl、-OCOCH3 、-Si(CH3)3 、-OH、又は-Hを表す)で示される単量体の一種又は二種から得られる共重合体。

IPC (3件)：

C08F222/40 MNE ,  C08F212/04 MJU ,  C08F220/16 MLY

FI (3件)：

C08F222/40 MNE ,  C08F212/04 MJU ,  C08F220/16 MLY