特許
J-GLOBAL ID：200903068469292435
ワーク表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329383
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164699
出願日： 1991年12月13日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】ワーク表面検査において、取り込み画像の一部に有効な検査画像でない暗部が含まれる場合、該暗部に要する画像処理時間を減少させ、全体の検査時間の短縮が可能となるワーク表面検査方法を提供することを目的とする。【構成】先ず、メモリを初期化し、これに二値化された入力画像を記憶させる。続いて、二番目、三番目の画像を前記メモリに記憶させる。この場合、画像の明部が画像合成時に重複しないように予めティーチングしておく。そして、各画像を一画素ずつ論理和をとってメモリ上で画像合成し、この合成された画像に対して画像処理を一括して行う。
請求項（抜粋）：
被測定面に向かって検出光を照射する投光手段と、該被測定面からの前記検出光の反射光を受光する検出手段と、前記反射光を前記検出手段の受光面に収束させる集光光学系とを備えた表面検査装置を用いて、曲面を有するワークの表面を検査する方法であって、前記表面検査装置をワーク表面に沿って順次変位させ、前記検出光を前記検出手段により受光し、得られた画像をそれぞれ二値化する工程と、該二値化された複数の画像データから、検出光の照射されたワークの有効検査面に係る画像データを抽出し、これらを重複しない状態で保持する工程と、該保持された画像データに対して所定の画像処理を施す工程と、からなることを特徴とするワーク表面検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06F 15/62 400
