特許
J-GLOBAL ID：200903068479848148
石英ガラスルツボの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343319
公開番号（公開出願番号）：特開平7-172978
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 高品質のシリコン単結晶を引上げ可能な石英ガラスルツボを製造するための方法を提供すること。【構成】 シリコン単結晶引上げ用の石英ガラスルツボの製造方法において、粒体の最大粒径が300μmであり、かつ少なくとも90重量%の粒体の粒径が、上下幅100μmの粒径範囲内に入っていて、その粒径範囲の下値が170μm以上である原料粒体をルツボの肉厚の少なくとも30%の内層部分に用いることを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶引上げ用の石英ガラスルツボの製造方法において、粒体の最大粒径が300μmであり、かつ少なくとも90重量%の粒体の粒径が、上下幅100μmの粒径範囲内に入っていて、その粒径範囲の下値が170μm以上である原料粒体をルツボの肉厚の少なくとも30%の内層部分に用いることを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
IPC (2件)：
C30B 15/10
, C30B 29/06 502
