特許

J-GLOBAL ID：200903068482131130

単結晶引上装置のインナーシールド

発明者： 笠原 雅寿 ,  市島 雅彦 ,  蒔田 律郎 ,  外谷 栄一
出願人/特許権者： 東芝セラミツクス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278247
公開番号（公開出願番号）：特開平5-085884
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 チャンバー内の雰囲気の汚染を防止すると共に、廃ガスの流れをスムースとし、かつパーティクルの発生を防止する。【構成】 高純度のガラス状カーボンからなる円筒状のシールド本体の表面に、高純度のガラス状カーボンの被膜を形成することにより、インナーシールドの全てを高純度のガラス状カーボンのみから形成し、かつその表面を緻密で平滑とする。

請求項（抜粋）：

高純度のガラス状カーボンからなる円筒状のシールド本体の表面に、高純度のガラス状カーボンの被膜を形成したことを特徴とする単結晶引上装置のインナーシールド。

IPC (4件)：

C30B 15/14 ,  C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  C04B 41/87

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-297293
  
• 特開昭64-018986