特許
J-GLOBAL ID：200903068488284753
流体噴射装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350755
公開番号（公開出願番号）：特開2000-198204
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 発熱駆動部、メンブレイン及びノズル部を形成するそれぞれの工程と、これらを順次に組立てる工程を含む流体噴射装置の製造方法を提供する。【解決手段】 (A)発熱駆動部、メンブレイン及びノズル部を各々形成する段階、及び(B)これらを順次に組立てる段階を含み、前記段階(B)は基板上にシリコン材質のノズルプレートをの積層する第1段階と、前記ノズルプレートを化学機械的ポリシング工程により所定の厚さに研磨する第2段階と、露光工程を通じてノズルプレートにノズルを形成する第3段階と、形成されたノズル部に異方性蝕刻による露光工程により噴射流体室を形成する第4段階と、前記ノズルプレートを前記基板から分離する第5段階とを含む。
請求項（抜粋）：
発熱駆動部、メンブレイン及びノズル部を形成する段階と、一つのノズルプレートを用いてノズル及び噴射流体室を順次に形成し、前記発熱駆動部、前記メンブレイン及び前記ノズル部を順次に組立てる段階とを含むことを特徴とする流体噴射装置の製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/05
, B05B 9/00
, B41J 2/165
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 B
, B05B 9/00
, B41J 3/04 102 N
, B41J 3/04 103 H
