特許
J-GLOBAL ID：200903068498728099
振動ジャイロ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215182
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055476
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 温度変化による測定誤差の少ない高精度の振動ジャイロを提供する。【構成】 この振動ジャイロ10は、正3角柱状の振動体12を含む。振動体12の1つの側面には、振動体12を振動させる駆動用の圧電素子30が形成される。振動体12の他の2つの側面には、振動体に加わる歪みを検出する出力検出用のひずみゲージ14,16が形成される。振動体12は、そのノード点付近の稜線部分に取付けられた支持部材32,34により、基板36の表面に支持される。基板36の表面には、温度補償用振動体として、振動体12と同じ材料からなる直方体状の保持体38が形成される。保持体38の表面には、保持体38に加わる歪みを検出するための温度補償用のひずみゲージ40,42が形成される。出力検出用のひずみゲージ14,16と温度補償用のひずみゲージ40,42と電源Eと検出器Gとで、たとえばホイートストンブリッジ回路が形成される。
請求項（抜粋）：
3角柱状の振動体、前記振動体の1つの側面に形成され、前記振動体を振動させるための駆動用の圧電素子、前記振動体の他の2つの側面に形成され、前記振動体に加わるひずみを検出する出力検出用のひずみゲージ、前記振動体と同じ空間に配置され、前記振動体と同じ材料で形成される温度補償用振動体、および前記温度補償用振動体の表面に形成され、前記温度補償用振動体に加わるひずみを検出するための温度補償用のひずみゲージを含み、前記出力検出用のひずみゲージおよび前記温度補償用のひずみゲージでブリッジ回路が形成される、振動ジャイロ。
IPC (2件)：
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