特許
J-GLOBAL ID：200903068508019857
セラミックスヒーターの製造方法及びセラミックスヒーター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185098
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045360
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】高融点金属の線体を巻回してなるコイル状の抵抗発熱体をセラミックス成形体内へと埋設し、これを焼結させる製造方法において、この抵抗発熱体の埋設作業を容易かつ短時間に行なえるようにし、また抵抗発熱体の埋設位置のズレを防止することである。【構成】所定の平面的パターンを有する溝4aを、型4に設け、高融点金属の線体を巻回してなる巻回体2を溝4a内に収容する。次いで前記高融点金属の1次再結晶開始温度以下で、非酸化性雰囲気下に巻回体2を熱処理し、抵抗発熱体とする。この抵抗発熱体をセラミックス成形体の内部に埋設し、次いでこのセラミックス成形体を焼結させることにより、セラミックス基体とこのセラミックス基体の内部に所定の平面的パターンに沿って埋設された抵抗発熱体とを備えたセラミックスヒーターを得る。
請求項（抜粋）：
高融点金属の線体を巻回してなる巻回体を、所定の平面的パターンに保持し、次いで前記高融点金属の1次再結晶開始温度以下で非酸化性雰囲気下に巻回体を熱処理して抵抗発熱体を得、この抵抗発熱体をセラミックス成形体の内部に埋設し、次いでこのセラミックス成形体を焼結させることにより、セラミックス基体とこのセラミックス基体の内部に所定の平面的パターンに沿って埋設された抵抗発熱体とを備えたセラミックスヒーターを得る、セラミックスヒーターの製造方法。
IPC (4件)：
H05B 3/74
, B28B 1/00
, H05B 3/20 356
, H01L 21/3065
