特許
J-GLOBAL ID:200903068510319051

窒化ケイ素系焼結体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小松 秀岳 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-272937
公開番号(公開出願番号):特開平5-105517
出願日: 1991年10月21日
公開日(公表日): 1993年04月27日
要約:
【要約】【目的】 本発明は特に常温において優れた機械的強度を有し、生産性、コスト面において有利に窒化ケイ素系焼結体を提供する。【構成】 Si3N4-第1助剤(Y2O3+MgO)-第2助剤(Al2O3、AlNの1種又は2種)の組成範囲が図1のABCDの範囲にあり、焼結体の結晶相にα-Si3N4とβ’-サイアロンの双方を含み、相対密度が98%以上のもの並びにこのものは、上記原料の圧粉体を1500〜1700°C、1.1気圧以下のN2ガス中で相対密度が96%以上になるように1次焼結した後、1500〜1700°C、10気圧以上のN2ガス中で相対密度が99%以上になるように2次焼結して得られる、曲げ強度がJISR1601に準拠する3点曲げ強度の平均値で100kg/mm2以上を有するものである。
請求項(抜粋):
Si3N4-第1助剤-第2助剤の3元組成図において、第1助剤がY2O3及びMgOの2種よりなる組合わせからなり、一方第2助剤がAl2O3及びAlNの1種または2種より選ばれた組合わせよりなり、その組成の範囲が図1に示される範囲、すなわちSi3N4と第1助剤の添加組成比がモル%で85:15から95:5の範囲であり、かつSi3N4と第2助剤の添加組成比がモル%で90:10から98:2の範囲で示される図1中の点A、B、C、Dで囲まれる範囲にあり、得られた焼結体中の結晶相にα-Si3N4とβ ́-サイアロンの双方を含み、その焼結体の相対密度が98%以上であり、その曲げ強度がJISR1601に準拠する3点曲げ強度の平均値で100kg/mm2以上を有することを特徴とする窒化ケイ素系焼結体。
IPC (3件):
C04B 35/58 102 ,  C04B 35/58 ,  C04B 35/64
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平2-022173
  • 特開平2-167861
  • 特開昭57-123865
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