特許
J-GLOBAL ID：200903068512460541
内周刃式切断装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-166021
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】半導体インゴットの切断完了後に切除部がブレードに衝突するのを防止し、かつ、切断の完全な自動化を可能にする。【構成】台金20の半導体インゴット切除部側の面に先端開口を接近させてノズル42を対向配置し、ノズル42へ圧縮空気を送給する流路に電磁弁46を介装し、ブレード19の初期位置を検出器50Uで検出し、該検出からブレード19が下方へ移動した距離をカウンタ52で測定し、測定値が数値設定器54に設定された値に一致したことをコンパレータ56で検出し、この検出から、検出器50Dがブレード19の下限位置を検出するまでの間、電磁弁46を開いて、ノズル42から圧縮空気を噴出させ、これを、台金20の回転方向に沿って半導体インゴット10の内周刃22による切り込み部に入れ、台金20と半導体インゴット10の間にある冷却液を吹き飛ばす。
請求項（抜粋）：
ドーナッツ状の薄い台金(20)に内周刃(22)が形成されたブレード(19)を回転させながら下方へ移動させ、該内周刃に冷却液を吹き当てながら半導体インゴット(10)を切断する内周刃式切断装置において、先端開口から噴出された圧縮空気が該台金の回転方向に沿って、該半導体インゴットの該内周刃による切り込み部に入り、該台金と該半導体インゴットの間にある該冷却液を吹き飛ばすように、該台金の半導体インゴット切除部(10b)側の面に該先端開口が接近して対向配置されたノズル(42)と、切断中に該ノズルへ圧縮空気を送給させる制御手段(48〜60)と、を有することを特徴とする内周刃式切断装置。
IPC (4件)：
B28D 5/00
, B28D 1/22
, C30B 33/00
, H01L 21/304 311
