特許

J-GLOBAL ID：200903068514808502

ウェーハ検出装置

発明者： 示野 和弘 ,  北村 大輔 ,  林 昭成
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320887
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150094
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置に於いてウェーハの検出時間を短縮し、制御部を簡単にする。【解決手段】揺動可能な揺動アーム42にカセット内の水平保持されたウェーハ27を検出するセンサ44を所要数配設した支持部材43を立設し、該揺動アームの揺動軸37を揺動モータ39により回転駆動する様にした構成であり、個々のウェーハ検出用センサにより複数のウェーハを同時に有無検出し、合わせてウェーハの状態を検出する。

請求項（抜粋）：

揺動可能な揺動アームにカセット内の水平保持されたウェーハを検出するセンサを所要数配設した支持部材を立設し、該揺動アームの揺動軸を揺動モータにより回転駆動する様構成したことを特徴とするウェーハ検出装置。