特許
J-GLOBAL ID:200903068517423040
めっき方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
友松 英爾 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-311374
公開番号(公開出願番号):特開平11-189880
出願日: 1997年10月27日
公開日(公表日): 1999年07月13日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 微細孔に確実に、かつ均一にめっきすることにより、配線の不完備による不良品の発生率をかぎりなく零とするめっき方法の提供。【解決手段】 被めっき物を前処理工程からめっき工程までを順次処理するめっき方法において、(A)処理浴に対する振動撹拌装置(図中4など)、(B)処理浴に対するエアレーション装置、(C)被めっき物が吊り下がっている電極バーに揺動を与えるための装置(図中2、3など)および(D)被めっき物が吊り下がっている電極バーを介してインバーターにより10〜60Hzに調節した振動モーターを用いて振幅0.5〜1.0mmの範囲の振動を与えるための装置(図中5、14など)を、めっきのための前処理工程およびめっき工程の少なくともクリーニング槽、無電解めっき槽および/または電解めっき槽において作動させることを特徴とする連続めっき方法。
請求項(抜粋):
被めっき物を前処理工程からめっき工程までを順次処理するめっき方法において、(A)処理浴に対する振動撹拌装置、(B)処理浴に対するエアレーション装置、(C)被めっき物が吊り下がっている電極バーに揺動を与えるための装置および(D)被めっき物が吊り下がっている電極バーを介してインバーターにより10〜60Hzに調節した振動モーターを用いて振幅0.5〜1.0mmの範囲の振動を与えるための装置を、めっきのための前処理工程およびめっき工程の少なくともクリーニング槽、無電解めっき槽および/または電解めっき槽において作動させることを特徴とする連続めっき方法。
IPC (3件):
C23C 18/16
, B01F 11/00
, C25D 7/00
FI (3件):
C23C 18/16 C
, B01F 11/00 A
, C25D 7/00 J
引用特許:
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