イオン散乱分光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-238809
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101142
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】方位角及び極角の回転機構を必要とすることなく、試料の方位角分解測定や極角分解測定を行い、試料の方位角及び極角についての情報を得ることができるイオン散乱分光装置を提供する。【構成】同軸形直衝突イオン散乱分光法を適用したイオン散乱分光装置において、照射イオンと同軸上に配置する散乱イオンの検出器8を、方位角方向及び極角方向に分割したマルチ・アノード80を備えた構成とする。

請求項（抜粋）：

同軸形直衝突イオン散乱分光法を適用したイオン散乱分光装置において、照射イオンと同軸上に配置する散乱イオンの検出器は、方位角方向及び極角方向に分割したアノードを備えていることを特徴とするイオン散乱分光装置。

IPC (4件)：

G01N 23/203 , G01T 1/29 , G01T 7/00 , H01J 37/295

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭56-126933
特開昭50-097391

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