特許
J-GLOBAL ID：200903068524758376
荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147312
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017709
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 高真空や特定ガス雰囲気下に試料を配置しても高い移動精度で試料ステージを移動させることができる荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 電子ビームカラム11と両チャンバMc,Sc内はそれぞれ独立して排気されるが、電子ビームカラム11内とサブチャンバScとの間にはオリフィス13が設けられており、この両部屋との間の排気コンダクタンスは著しく低くされている。また、サブチャンバScとメインチャンバMcとの間はフランジ7と平板部材9との間のリング状のオリフィスOによって通じているが、オリフィスOのコンダンクタンスは著しく低くされている。この結果、サブチャンバSc内が高い真空度に排気される。そして、メインチャンバMc内は比較的低い真空度に維持される。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームが照射される試料を載せるステージと、ステージを水平方向に移動させるための移動機構と、試料が入れられる第1のチャンバーと、移動機構が入れられる第2のチャンバーと、第1のチャンバー内を排気する第1の排気系と、第2のチャンバー内を排気する第2の排気系と、第1と第2のチャンバーとの間に配置され、移動機構によって移動するステージの一部が貫通する開口を有した隔壁と、開口の周辺部において隔壁と対向して配置され、ステージと共に移動する平面板とを有しており、隔壁と平面板との間には第1のチャンバー内と第2のチャンバー内とを連通する小さな排気コンダクタンスの間隙が設けられていることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B01J 19/12
, H01L 21/68
