特許

J-GLOBAL ID：200903068533899446

研磨パッド

発明者： 長井 陽三 ,  河村 和典 ,  森山 順一 ,  橘 俊光
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164195
公開番号（公開出願番号）：特開平9-012736
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【目的】耐摩耗製,耐薬品性に優れ、しかも厚肉成形が可能な耐久性に優れた研磨パッドを提供する。【構成】分子量が50万以上の超高分子量ポリエチレンを主体とする粉体を焼結してなる高分子多孔質シートによって構成されている。

請求項（抜粋）：

粘度法により測定される分子量が50万以上の超高分子量ポリエチレンを主体とする粉体を焼結してなる高分子多孔質シートによって構成されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (8件)：

C08J 5/14 CES ,  B24D 11/00 ,  B29C 67/04 ,  B29C 67/20 ,  C08J 9/24 CES ,  B29K 23:00 ,  B29K105:04 ,  C08L 23:04

FI (5件)：

C08J 5/14 CES ,  B24D 11/00 Q ,  B29C 67/04 ,  B29C 67/20 D ,  C08J 9/24 CES

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 精密研磨用パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349924   出願人：千代田株式会社
• 特開平2-214647
  
• 特開平1-146666