特許

J-GLOBAL ID：200903068534543319

クリーン搬送方法、クリーンボックス及びクリーン搬送装置

発明者： 増島 勝 ,  八木 博志 ,  宮内 栄作 ,  宮嶋 俊彦
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223288
公開番号（公開出願番号）：特開平10-056050
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 スプリング等を使用したメカニカルシールを不要として、真空封止状態だけでなく窒素等のクリーン気体で被搬送物を封止した状態でも移送可能なクリーン搬送方法を実現する。【解決手段】 開閉口を持つボックス本体12と前記開閉口を閉成するシャッター兼用蓋体13と、ボックス本体12及び前記蓋体13に真空吸着して蓋体13を閉成状態に保持する蓋体チャック14とを有するクリーンボックス11と、シャッター45で開閉自在な開閉口41を有するクリーン装置30とを、前記蓋体13及び前記シャッター45の閉成状態にて気密に結合して前記蓋体13及び前記シャッター45が面しかつ前記蓋体チャック14が内側に含まれる密閉空間を形成し、該密閉空間を真空排気して前記蓋体チャック14を外して、前記蓋体13を開く構成である。

請求項（抜粋）：

開閉口を有するボックス本体と前記開閉口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体と、前記ボックス本体及び前記蓋体に真空吸着して前記蓋体を閉成状態に保持する蓋体チャックとを有し、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスと、シャッターで開閉自在な開閉口を有するクリーン装置とを、前記蓋体及び前記シャッターの閉成状態にて気密に結合して前記蓋体及び前記シャッターが面しかつ前記蓋体チャックが内側に含まれる密閉空間を形成し、該密閉空間を真空排気して前記蓋体チャックを外して、前記蓋体を開くことを特徴とするクリーン搬送方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/02 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 二重シール容器構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-350991   出願人：株式会社荏原製作所
• クリーン搬送方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-047734   出願人：ティーディーケイ株式会社