特許
J-GLOBAL ID：200903068537486677
ガス放電表示パネルの隔壁形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239756
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266791
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 ガス放電表示パネルの隔壁をより高精細に形成する。【構成】 表層26bを乾燥させたままの電極パターン26上に、当該パターン26と接触させて隔壁形成用の壁材28を積層する。電極パターン26及び壁材28は厚膜ペーストを用いて形成される。次に壁材28を加熱することにより壁材28の全体にわたりこれが含む樹脂を分解する。これにより、表層26bの硬度を壁材28の硬度よりも高くしかつこれらの硬度差を大きくできる。次に硬度が表層26bよりも低くかつ壁材28よりも高いブラスト粒子を用いてサンドブラスト法により壁材28をパターニングし、隔壁を形成する。このパターニングでは、電極パターン26がブラスト粒子で損傷するのを抑止しつつ壁材28を高精細にパターニングできる。また隔壁及び電極パターン26を接触させたままこれらを焼成できるので、隔壁が電極パターン26から剥がれ落ちるのを防止できる。
請求項（抜粋）：
ガス放電表示パネルの隔壁を形成する方法において、基板上に、電極パターン形成用厚膜ペーストを印刷し、少なくとも表層を乾燥させたままにした電極パターンを形成する工程と、表層を乾燥させたままの電極パターン上に、当該電極パターンと接触させて隔壁形成用厚膜ペーストを印刷して、壁材積層体を形成する工程と、壁材積層体上に耐サンドブラスト性を有するレジストパターンを形成する工程と、レジストパターンを形成した壁材積層体を焼成温度よりも低い温度で加熱し壁材積層体のほぼ全体にわたり壁材積層体が含む樹脂を分解する工程と、電極パターンの表層よりも硬度が低く全体にわたり樹脂を分解した壁材積層体よりも硬度が高いブラスト粒子を用いたサンドブラスト法により壁材積層体をパターニングして、隔壁を形成する工程と、前記レジストパターンを隔壁から除去する工程と、電極パターンの少なくとも表層及び隔壁を焼成する工程とを含むことを特徴とするガス放電表示パネルの隔壁形成方法。
IPC (3件)：
H01J 9/20
, H01J 9/02
, H01J 17/49
