特許
J-GLOBAL ID：200903068544455388
無電極放電エネルギ-供給装置、および無電極放電ランプ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-062347
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329369
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】空洞共振器を無電極放電エネルギー供給装置として用いて波長よりも広い放電領域に放電を起こそうとすると放電強度にむらが生じ、広範囲に均一な放電が要求されるような応用分野には適さないという課題。【解決手段】高周波により表面波を励起する表面波線路11を有し、表面波線路11は周期的構造のひだ14を有する導電性材料からなり、かつ表面波線路11の近傍に生じる表面波により無電極放電に必要なエネルギーを、無電極放電管12に供給する無電極放電エネルギー供給装置を用いる事により、比較的均一な高周波エネルギーを平面状または線状の放電空間に印加できる。
請求項（抜粋）：
所定の周期的構造を有した、高周波により表面波を励起する励起手段を備え、前記励起された表面波により、無電極放電に必要なエネルギーを供給することを特徴とする無電極放電エネルギー供給装置。
IPC (5件)：
H01J 65/04
, H01P 1/203
, H01P 1/205
, H01P 7/08
, H05B 41/24
H01J 65/04 A
, H01P 1/203
, H01P 1/205 A
, H01P 7/08
, H05B 41/24 M
