特許

J-GLOBAL ID：200903068551978094

エッチング終点検出方法

発明者： 堀尾 正弘
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346102
公開番号（公開出願番号）：特開平5-179467
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：

【要約】【構成】 ドライエッチング中の被エッチング膜上から集光した干渉光およびプラズマ光を光ファイバーケーブル19を用いて取り出し、この光をパラレルに赤、緑、青の3種類のカラーフィルター20a、20b、20cに通し、この後フォトダイオード21a、21b、21cにより電圧変換し、これら3つの電圧値の変動によりエッチングの終点を検出するエッチング終点検出方法。【効果】 被エッチング面積が微少な場合においても終点を検出することができ、エッチング条件の異なる場合においてもハードの変更を必要としない。

請求項（抜粋）：

ドライエッチング中の被エッチング膜上から集光した干渉光およびプラズマ光を光ファイバーケーブルを用いて取り出し、この光をパラレルに赤、緑、青の3種類のカラーフィルターに通し、この後フォトダイオードにより電圧変換し、これら3つの電圧値の変動によりエッチングの終点を検出するエッチング終点検出方法。