特許

J-GLOBAL ID：200903068570573305

測定用探針位置合わせ板及び測定用探針当て装置並びに測定用探針位置検出方法

発明者： 辻井 利之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-011069
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218535
出願日： 1994年02月02日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 半導体装置の測定用探針の位置を迅速に求める。【構成】 導電確認回路16aは電圧源20aと、これに直列に接続された電流計21aとを備えており、これらはプロービング用探針14のうちの一本と、導電領域6との間に接続されている。プロービング用探針14の先端14aがコンタクト板4に接触される。プロービング用探針14の先端14aとコンタクト板4との導電状態が調べられる。もしプロービング用探針14の先端14aは導電領域16に接触しているのであれば電流計21aが導通あることを示し、先端14aが絶縁領域15に接触しているのであれば電流計21aが導通ないことを示す。【効果】 境界線22の位置を参照してプロービング用探針14の位置が求められる。

請求項（抜粋）：

(a)測定時において測定対象に接触して前記測定対象の電気的特性を測定する測定用探針の先端が位置合わせ時において接触し、(a-1)少なくとも一つの直線状の境界線と、(a-2)前記境界線を境界とし、第1の抵抗率を有する第1の領域の少なくとも一つと、(a-3)前記境界線を境界とし、前記第1の抵抗率よりも高い第2の抵抗率を有する第2の領域の少なくとも一つとを含む第1の主面を備え、前記第1及び第2の領域は前記第1の主面において前記境界線を介して隣接する測定用探針位置合わせ板。

IPC (5件)：

G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/28 K ,  G01R 31/28 H