特許
J-GLOBAL ID:200903068573072277
遮蔽部材の作製方法、及び画像形成装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 忠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-091514
公開番号(公開出願番号):特開平9-283015
出願日: 1996年04月12日
公開日(公表日): 1997年10月31日
要約:
【要約】【課題】 電子の飛翔軌道と遮蔽部材の電子通過孔の位置ずれにより電子源の劣化が生じる場合があった。【解決手段】 電子源基板8に遮蔽部材6を固定した後、ビーム走査方式レーザー加工法を用いて電子通過孔7を形成した。
請求項(抜粋):
電子放出素子を搭載した電子源基板に、該電子放出素子から放出される電子を透過し且つ前記電子放出素子に飛翔してくる帯電粒子を遮蔽するための遮蔽部材を固定した後、微細加工手段により電子通過孔を形成することを特徴とする遮蔽部材の作製方法。
IPC (3件):
H01J 9/02
, H01J 9/14
, H01L 21/027
FI (3件):
H01J 9/02 B
, H01J 9/14 Z
, H01L 21/30 541 S
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