特許

J-GLOBAL ID：200903068574520575

単結晶引上装置

発明者： 北島 直
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-190147
公開番号（公開出願番号）：特開2002-012495
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：

【要約】【課題】 CZ法による単結晶引上装置の始動時等に必要なワイヤの吊り下げ位置調整における作業効率を向上し、調整作業の規格化、効率化を図る。【解決手段】 半導体融液を貯留するルツボを内部に配する密閉容器12と、ルツボ内の半導体融液から半導体単結晶11を引き上げるワイヤ13と、ワイヤ13を回転させながら引き上げるワイヤ引き上げ手段14,18,19とを有する単結晶引上装置10であって、ワイヤ13の吊り下げ状態を監視する監視手段30が設けられて、監視手段は、密閉容器12に吊下されるワイヤ13を密閉容器12の上方から撮す撮影手段31と、撮影手段で撮した映像を表示する映像表示手段35と、を備えている。

請求項（抜粋）：

半導体融液を貯留するルツボを内部に配する密閉容器と、前記ルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げるワイヤと、前記ワイヤを回転させながら引き上げるワイヤ引き上げ手段とを有する単結晶引上装置であって、前記ワイヤの吊り下げ状態を監視する監視手段が設けられ、該監視手段は、前記密閉容器に吊下される前記ワイヤを前記密閉容器の上方から撮す撮影手段と、該撮影手段で撮した映像を表示する映像表示手段と、を備えていることを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (2件)：

C30B 15/26 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/26 ,  C30B 29/06 502 Z

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EH10 ,  4G077HA12 ,  4G077PF55