特許
J-GLOBAL ID：200903068576463269
温度検出装置と、この温度検出装置を用いた半導体製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116965
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331457
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 光ファイバを使用した蛍光温度計の温度測定を精度良く容易に行えるようにする。【構成】 被測定物側の光ファイバ5の先端部に配置した蛍光体3を保護するキャップ4を、被測定物1に接触させ、測定器8からの励起光のパルスを照射したときの、蛍光体3の発光特性の温度依存性によって、被測定物1の温度を測定する温度検出装置において、光ファイバを被測定物側と測定器側とに分け、彼測定物側の光ファイバ5をアクチュエータ7により単独で被測定物側に進退可能とする。【効果】 蛍光温度計の先端部を確実に被測定物に接触させることができ、被測定物の温度を正確に測定することが出きる。
請求項（抜粋）：
光ファイバを通じて励起光のパルスを照射したときの蛍光体の発光特性の温度依存性によって被測定物の温度を測定する原理の蛍光温度計において、前記光ファイバを途中で中継し、複数とすることにより、被測定物側の光ファイバを移動手段で、前記被測定物に対して進退可能としたことを特徴とする温度検出装置。
IPC (4件)：
G01K 11/12
, C23F 4/00
, G01K 11/20
, H01L 21/302
