特許
J-GLOBAL ID：200903068579829159
流体圧力測定方法及び流体圧力測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-091979
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281909
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】流体を搬送するマイクロマシン装置の加圧室内の圧力を実使用状態あるいはそれに近い状態で低コストで測定する方法及び装置を提供する。【解決手段】加圧室15で流体7に圧力をかけるアクチュエータとしての圧電素子15を圧力のセンサとしても使用する。具体的には、加圧室15内に流体7を満たした状態で圧電素子11を駆動した場合に圧電素子11の電極111 及び112 に流入する電荷量Q1 と、流体7がない状態で駆動した場合の電荷量Q2 とをチャージアンプ4で計測しAD変換器5を介して記憶・演算処理装置6に入力して〔Q1-Q2 〕を求め、加圧室15内の流体7の圧力を測定する。この場合にはQ1 とQ2 の計測がシリーズになるが、比較用の圧電素子あるいは比較用のコンデンサを使って同時にQ1 とQ2 を計測し、圧力を測定することもできる。
請求項（抜粋）：
流体を搬送する流路の一部に流体を加圧あるいは減圧する加圧室が備えられ、加圧室の側壁には加圧室を加圧あるいは減圧するための圧電素子が備えられている流体搬送装置において、圧電素子の駆動に伴って圧電素子の電極に流入された電荷量が計測されることによって、圧電素子に隣接する加圧室内の流体の圧力が測定されることを特徴とする流体圧力測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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