熱処理装置の配管連結装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005531
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】熱処理装置の配管連結装置に接続されているガス配管及びガス排気管の取り付け角度を変化させても,配管に破損する力を加えることなく接合面の圧力を均一に保つことができると共に,気密保持ができ処理ガスを漏洩させない配管連結装置を提供する。【構成】反応管8にガス導入管15またはガス排気管17が気密に設けられた熱処理装置炉7において,上記ガス導入管15または上記ガス排気管17と接続された外部連通配管との接続部は,一方が球状体をなし他方が上記球状体を嵌合する凹部体からなるそれぞれ球状接続部20が形成され,これらの球状接合部20を2枚の押さえ板18,19用いて押圧する手段とで構成されたものである。

請求項（抜粋）：

反応管にガス導入管またはガス排気管が気密に設けられた熱処理装置において,上記ガス導入管または上記ガス排気管と接続された外部連通配管との接続部は,接合面の一方が球状体をなし他方が上記球状体を嵌合する凹部体からなるとともに,配管側にはそれぞれ球体形状部が形成され,これらの球体形状部を2枚の板状体を用いて押圧する手段が設けられたことを特徴とする熱処理装置の配管連結装置。

IPC (2件)：

H01L 21/22 , H01L 21/31

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