特許

J-GLOBAL ID：200903068587015101

パターン形成材料並びにパターン形成方法及びパターン

発明者： 高柳 丘 ,  有岡 大輔
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-270740
公開番号（公開出願番号）：特開2007-079477
出願日： 2005年09月16日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】 UV露光により画像形成可能で、表面のタック性が小さく、ラミネート性及び取扱い性が良好で、保存安定性に優れ、現像後に優れた耐薬品性、表面硬度、耐熱性などを発現するパターン形成材料、並びに、高精細なパターン(保護膜、層間絶縁膜、ソルダーレジストパターンなど)及びその効率的なパターン形成方法の提供。【解決手段】 (A)バインダーと、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)熱架橋剤と。を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有し、該感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、0.1〜80mJ/cm2であり、 (A)バインダーが、エポキシ当量9,500g/eq.以上のエポキシアクリレート化合物を含むパターン形成材料である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)バインダーと、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)熱架橋剤と、を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有し、該感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、0.1〜80mJ/cm2であり、 (A)バインダーが、エポキシ当量9,500g/eq.以上のエポキシアクリレート化合物を含むことを特徴とするパターン形成材料。

IPC (6件)：

G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/26 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  C08F 290/06

FI (8件)：

G03F7/027 515 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/26 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/004 503Z ,  H01L21/30 502R ,  C08F290/06

Fターム (87件)：

2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC54 ,  2H025BC74 ,  2H025BC81 ,  2H025BC84 ,  2H025CA01 ,  2H025CA07 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025CA35 ,  2H025CA39 ,  2H025CA48 ,  2H025CC20 ,  2H025DA19 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096LA16 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BA031 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB082 ,  4J127BB131 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC032 ,  4J127BC141 ,  4J127BC151 ,  4J127BC152 ,  4J127BD062 ,  4J127BD201 ,  4J127BE11X ,  4J127BE112 ,  4J127BE29Y ,  4J127BE292 ,  4J127BE34X ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE342 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG04Z ,  4J127BG041 ,  4J127BG042 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG102 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG16X ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG162 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127BG20Y ,  4J127BG201 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127DA52 ,  4J127FA18

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭61-243869号公報
  
• プリント配線板用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びプリント配線板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-096963   出願人：太陽インキ製造株式会社
• 光硬化性組成物、並びにそれを用いた光硬化性画像形成材料、光硬化性画像形成材、及び画像形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-351067   出願人：三菱化学株式会社
• タービン式流量計用整流器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-298011   出願人：トキコ株式会社