特許

J-GLOBAL ID：200903068587527846

三次元変位プローブ

発明者： 黒沢 俊郎 ,  菊地 孝志 ,  佐藤 学
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093488
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301510
出願日： 1994年05月02日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】案内機構に捻じれ等が生じても測定精度に影響しない高精度な三次元プローブを提供する。【構成】測定子30の変位量を測定する変位量測定手段として、測定子30の変位に追従して変位すると共にX-Y面、X-Z面、Y-Z面の三次元平面を形成する直角三面反射体56と、直角三面反射体56の各面にレーザ光を照射してその反射光と参照光とで形成される干渉縞から、直角三面反射体56の初期状態に対する前記各面の変位量を測定する複数のレーザー干渉計(I1 、I2 、I3 、I4 、I5 、I6 )と、から構成し、測定子30が被測定物に接触して変位する変位量を直角三面反射体56の変位量としてとらえるようにした。即ち、測定子30の変位量を測定する測定基準を、X軸案内機構、Y軸案内機構、Z軸案内機構の各案内機構とは別のところに設け、案内機構とは無関係に測定子の変位量を測定できるようにした。

請求項（抜粋）：

X軸案内機構、Y軸案内機構、Z軸案内機構に支持された測定子が被測定物に接触して変位する三次元空間での変位量を変位量測定手段で測定して前記被測定物の形状等を測定する三次元変位プローブに於いて、前記変位量測定手段は、前記三次元変位プローブ本体内に設けられ、前記測定子の変位に追従して変位すると共にX-Y面、X-Z面、Y-Z面の直角三次元平面を有する移動体と、前記三次元変位プローブ本体内の所定位置に設けられ、前記直角三次元平面を有する移動体の初期状態に対する前記各面の変位量を測定する複数の変位計と、から成り、前記測定子が被測定物に接触して変位する変位量を前記直角三次元平面を有する移動体の変位量としてとらえるようにしたことを特徴とする三次元変位プローブ。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 21/20